PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。通過反應(yīng)氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn),工藝流程簡單。
射頻電源主要技術(shù)參數(shù)如下:
電源:單相50/60Hz 220v±10%
加熱(功率)電源:2.5KW,25A
控制柜電源空氣開關(guān):32A空氣開關(guān)
薄膜生長室溫度:室溫~ 1200℃
射頻頻率:13.56MHz
射頻功率輸出范圍:5~500W
可以選配進(jìn)口射頻電源
上海特瑟電爐設(shè)備技術(shù)有限公司生產(chǎn)的實驗電爐符合國家標(biāo)準(zhǔn)并通過歐盟CE安全認(rèn)證,出廠前經(jīng)過嚴(yán)格檢測;秉持“全方位、高品質(zhì)、快速度”的服務(wù)標(biāo)準(zhǔn),以客戶滿意為目標(biāo),謹(jǐn)此公開承諾。
一、產(chǎn)品質(zhì)量承諾:
1、產(chǎn)品的制造和檢測嚴(yán)格按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行,并有質(zhì)量記錄可查;每臺設(shè)備都有唯一的制造編號,并建立用戶檔案。
2、所有產(chǎn)品均可通過權(quán)威的第三方檢測機(jī)構(gòu)檢測;也可委托我方代為辦理(檢測機(jī)構(gòu):上海市計量局和華東國家計量測試中心),費(fèi)用另計。
二、交貨期承諾:
按合同約定執(zhí)行;如客戶有特殊原因需提前交貨的,我公司可特別組織生產(chǎn),力爭滿足用戶需求。
三、售后服務(wù)承諾:
1、免費(fèi)送貨上門服務(wù);
2、免費(fèi)安裝調(diào)試服務(wù):當(dāng)您收到設(shè)備后,請注意檢查外包裝是否完好并通知我們,我們會安排專業(yè)人員上門免費(fèi)安裝、調(diào)試及培訓(xùn),并指導(dǎo)操作人員如何保養(yǎng)和注意事項等,直至滿意為止。
3、高效率 服務(wù):當(dāng)設(shè)備不能正常使用時,請及時聯(lián)系我們,我們會在10分鐘內(nèi)響應(yīng);2小時內(nèi)提供應(yīng)急解決方案;72小時內(nèi)安排專業(yè)人員上門服務(wù);
4、定期回訪服務(wù):提供定期電話回訪或上門回訪服務(wù);
5、軟件免費(fèi)更新:我們免費(fèi)提供軟件的升級更新服務(wù),使設(shè)備始終處于國內(nèi)領(lǐng)先;
6、設(shè) 備保 固期:我司鄭重承諾,自交貨之日起,我公司設(shè)備整機(jī)保固期為24個月.
7、保固期限內(nèi):如遇設(shè)備質(zhì)量上問題,我公司鄭重承諾,負(fù)責(zé)免費(fèi)維修及更換零部件,(因甲方使用不當(dāng)或其他人為因素造成的故障除外)。質(zhì)保期內(nèi),如設(shè)備或零部件因非人為因素出現(xiàn)故障而造成短期停用時,則質(zhì)保期和免費(fèi)維修期相應(yīng)順延。如停用時間累計超過60天則質(zhì)保期重新計算。
9、操作培訓(xùn):針對客戶的具體操作人員,我公司免費(fèi)上門給予操作培訓(xùn)、簡單故障排除、技術(shù)深入研制等培訓(xùn),保證設(shè)備使用者能夠掌握使用技術(shù)。
10、保固期外,整機(jī)終身保修,如需更換零部件,緊收零部件的成本價。







