產品型號

TST-1200F-60-PECVD

爐體結構

雙層殼體結構，配有風冷系統

爐膛材質

日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好

爐管材質

高純石英管；可選外徑Φ40/50/60/80/100*1200/1500mm

密封法蘭

不銹鋼快速擠壓密封法蘭

溫控系統

溫度控制系統采用人工智能調節技術，具有PID調節、自整定功能，并可編制30段升降 溫程序；控溫精度±1℃

顯示模式

儀表面板顯示

加熱元件

優質電阻絲0Cr27Al7Mo2

測溫元件

K型熱電偶（可選購增加內置熱電偶，實時監測加熱物料溫度）

使用溫度

最高溫度1200℃，連續工作溫度≤1150℃

升溫速度

推薦≤10℃/min，最快升溫速度30℃/min

降溫速度

700℃以上≤10℃/min

恒溫區

加熱區長度440mm，恒溫區200mm

真空范圍

0.1-0.001Pa

極限真空

4.0*10^-4Pa

產品配置

雙級旋片真空泵+分子泵

測量方式

復合真空計

真空規管

電阻規+電離規

射頻電源

電源：單相50/60Hz 220v±10%

射頻電源

加熱（功率）電源：2.5KW，25A

射頻電源

控制柜電源空氣開關：32A空氣開關

射頻電源

薄膜生長室溫度：室溫~ 1200℃

射頻電源

射頻頻率：13.56MHz

射頻電源

射頻功率輸出范圍：5~500W

質量流量計

控制方式：質量流量計,流量顯示儀（七星華創、美國Omega、日本Horiba）

質量流量計

流量規格0－500SCCM /0－1SLM,（可根據客戶需要配置）

質量流量計

線性±1%F.S

質量流量計

準確度±1%F.S

質量流量計

重復精度±0.2%F.S.

質量流量計

響應時間≤2sec

質量流量計

耐壓3MPa

質量流量計

氣路通道雙通道（根據客戶需求）

機器電源

AC220V，50/60Hz；額定功率4kw

執行標準

GB/T 10066.1-2004、GB/T 10067.4-2005

標準配置

主機1臺，密封法蘭1套，“O”型圈4個，石英管1根，管堵4個，坩堝鉤1把， 說明書、合格證、保修卡各1份

可選混氣

多通道浮子、質量混氣系統

選購件

爐架，各種石英、剛玉坩堝，石英管，高溫手套，計算機控制軟件，無紙記錄儀等。