PDP燒成爐分類和結構
PDP燒成爐的選擇與PDP的材料特性和工藝路線密切相關。燒成爐最早使用的是金屬馬弗的網帶爐,但它的金屬馬弗的氧化鱗片以及馬弗與網帶的磨損產生的金屬粉末對PDP的燒結質量產生不良影響。因此,近年來研制用滾柱上面放置微晶玻璃襯板來代替網帶的燒成爐,這種燒成爐被稱為滾柱式燒成爐。最初的滾柱采用不銹鋼材料,后來發展成在不銹鋼滾上鑲嵌瓷管.
目前幾乎所有燒成爐均采用陶瓷滾柱。這種燒成爐的顯著優點是爐內沒有氧化起皮的材料,也不存在由于金屬磨損產生的金屬粉末的問題,提高了爐內的潔凈度。用于PDP的滾柱式燒成爐可分為單級滾柱爐、雙級滾柱爐和間歇滾柱爐。在使用時,要根據基板材料的性質和處理量,選擇不同的燒成爐,對使用PD-200、PP-8和CS-25等高轉移點玻璃,一般選擇單級滾柱爐。雙級滾柱爐用于1萬張/月以上的批量生產。間歇滾柱爐一般用于基板為Na-Ca玻璃的燒結,也可用于多品種基板玻璃的燒結。2PDP燒成爐的特點單級和雙級滾柱燒成爐都屬于連續爐,根據對基板玻璃的處理量,選擇23~34m不等的爐體長
雙級滾柱爐是在一個爐內將滾輪設為2級用上、下二級滾輪運輸2張基板,加熱器則設置成上、中、下3級,可分別獨立進行溫度控制,在爐壁內側全部使用耐氧化的耐熱鋼(如253MA,鉻鎳鐵合金等)作為防塵馬弗材料,這與單級滾柱爐內側全部使用N―O微晶玻璃作為防塵馬弗材料不同。使用耐熱鋼作為馬弗材料一方面是考慮到它有足夠的強度和抗氧化性能,焊接性能良好,易實現密封焊接,確保爐內潔凈度;另一方面,薄而輕巧的耐熱鋼馬弗也易實現清掃作業,而N―O襯板雖然自身不產生塵埃,但易碎,又不能實現氣密對接,在清掃時費時又費力。圖3滾柱式燒成爐的溫度分布曲線若基板玻璃選擇Na―Ca玻璃,由于Na―Ca玻璃的轉移點溫度低于燒結溫度,所以在基板連續冷卻時,必然會使基板前后產生溫度差,造成前進方向的前端溫度低,后端溫度高,使基板產生扇形變形。為了解決Na―Ca玻璃應變點低而導致的收縮和變形的問題,開發出了PD-200玻璃。它應變點溫度大幅提高,達570℃,退火點達620℃,而在PDP制作過程中,大多數材料使用550℃左右的燒結溫度,因此,使用時,PD-200玻璃不易產生扇形變形。單級和雙級滾柱式燒成爐用于燒結PD-200等高轉移點基板玻璃。
為了能夠使用價格低廉的Na―Ca玻璃作為PDP基板玻璃,開發出了間歇式燒成爐,間歇式燒成爐是在基板冷卻至380℃的降溫段采用間歇式輸運,在該間歇降溫段,用閘門將各間歇室分隔,使各室有不同的溫度,其目的是在降溫時基板前后的溫度相同,避免了扇形變形。間歇式燒成爐在升溫、保溫和溫度低于380℃的冷卻段是連續式的,由最高溫度降至380℃附近的降溫段采用的是間歇式降溫,相鄰兩間歇室的溫度差一般25℃左右。連續爐的實際溫度曲線測試比較方便:使用熱電偶粘在待測基板上,待測基板在爐內通過時就可方便地測出爐內基板的實際溫度。但是對間歇爐,由于在間歇降溫段,各間歇室之間有閘門分隔,因此測試基板的實際溫度變得困難,這是間歇爐需要解決的課題。另外,由于間歇爐有許多閘門,爐體內外不密封,因此需要將整體設備放入凈化室,這就增加了空調的負荷,而一般的連續爐沒有閘門,因此只要將爐體的進出口放在凈化室即可。
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