更多規格參數和詳細技術方案請來電咨詢（021-59580206/ 15800623059），可根據用戶要求另行設計制造；

我們有專業的熱工技術團隊，可根據用戶需求定制研發各種高溫加熱設備；

主要用途：可用于搭建CVD系統，也可為樣品退火提供所需的氣氛環境。

一、概述

      1．氣體從鋼瓶出來，經過減壓閥減壓，通過四氟管到供氣系統的入口，再經過質子流量計控制氣體流量，然后經過混氣罐，再進入爐子進氣口，氣體從出氣管出來，經過三通閥門，一端連接真空泵，一端連接出氣口。

      2．混氣罐上接有壓力表，壓力表顯數盤與質子流量計安裝在同一面板上。

      3．每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。

      4．該氣路采用高精度氣體浮子流量計，氣路內部全采用四氟管，耐腐蝕性好。

      5．所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。

二、技術參數：

　　氣路通道：4

　　氣路流量控制：質子流量控制器。

　　接口：Φ6

　　顯示：LED

　　工作環境溫度:5~45℃

　　流量控制器：質子流量控制器（詳細技術參數請查看后面）

　　四氟管：Φ6外XΦ4內

　　壓力真空表：－0.1～0.15MPa,0.01MPa/格

　　截止閥：Φ6

三、供氣系統內部壓力不能過大，不然容易造成漏氣，只要氣體能正常流出來即可。

四、供氣系統的配置：

      1、質子流量計：4個

      2、壓力表：1個

      3、截止閥門：5個

      4、穿板接頭：5個

      5、閥門接頭：2個

      6、鋼瓶接頭:4個

      7、聚四氟乙烯管：20M

      8、混氣罐：1個

      9、爐架：1臺

　　質量流量計技術參數：質子流量控制器普通型，模擬電路，橡膠密封，管狀分流，不易堵塞。

　　主要指標:

　　量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM（你可以任意選擇量程）

　　準確度：±1.5%F.S

　　線性：±0.5～1.5%F.S

　　重復精度：±0.2%F.S

　　響應時間：10S

　　氣壓降：<0.01MPa

　　最大壓力：3MP

　　工作環境溫度：5～45℃

　　輸入輸出信號：0～+5.00V

　　電源：+15V50mA-15V50mA

　　外形尺寸：158*30*110